针对真空系统(如镀膜设备、半导体制造设备、真空泵、真空炉、真空计等)的应用需求,开展流体仿真、热力学仿真、磁场仿真、镀膜仿真等模拟和实验研究,优化真空设备中的气体流动、压力分布、温度分布、磁场分布及粒子输运过程,为真空设备的正向设计提供理论指导与优化设计方法;开展真空……
基于2015年在东北大学成立的Surfacility(添毅)技术平台,为真空表面工程行业提供硬件升级改造、工艺优化开发、控制系统升级、新技术调研、产学研合作项目策划、技术成果申报及鉴定、技术培训和实训、行业发展报告、行业振兴计划、标准制定和修订等咨询服务。
针对半导体、航空航天、新能源、生物医学等领域的应用需求,搭建个性化数字模型,牵头建立基于工业互联网的云平台,基于物联网和大数据技术,推动真空镀膜等设备及关键零部件的智能化升级,用人工智能赋能真空表面工程行业,实现由“进口替代”到“技术引领”的跃升。