1.完成泰安市科技发展计划-科技合作重点项目，2018年6月-2020年6月。 2.承担山东省泰山产业领军人才工程项目，2020年1月-2023年12月。 3.获得“2022 年中国产学研合作创新与促进奖优秀奖”。 发明专利： 1.一种离子镀弧斑控制装置及控制方法. 201710342007.5 (发明专利，授权公告日：2019.4.18) 2.一种……
核心技术： 基于计算流体力学（CFD）和稀薄气体动力学的真空流场、多物理场耦合算法；自主研发的跨流态双向耦合快速收敛技术；真空镀膜工艺+控制+设备的一体化技术；等离子体监控及数据处理技术。 差异化优势： a.高精度：支持微米级流道仿真，在半导体领域纳米级CVD薄膜制备中已获得一定的仿真验证……
本项目依托东北大学在流体力学与真空技术、自动化、计算机及软件工程技术领域的学科优势，提供以下服务： 真空设备的正向设计：针对真空系统（如镀膜设备、半导体制造设备、真空泵、真空炉、真空计等）的应用需求，开展流体仿真、热力学仿真、磁场仿真、镀膜仿真等模拟和实验研究，优化真空设备中的……
