针对真空系统（如镀膜设备、半导体制造设备、真空泵、真空炉、真空计等）的应用需求，开展流体仿真、热力学仿真、磁场仿真、镀膜仿真等模拟和实验研究，优化真空设备中的气体流动、压力分布、温度分布、磁场分布及粒子输运过程，为真空设备的正向设计提供理论指导与优化设计方法；开展真空设备及关键零部件的可靠性设计及可靠性试验，提供设计图纸；开展真空设备及关键零部件的服役特性测试，提供真空设备及关键零部件的全生命周期技术服务（包括服役特性数据库、故障诊断数据库，等）。