内容: 定期上门或远程对客户的真空设备、电源系统进行检测、保养、校准。建立设备健康档案。 价值: 减少客户非计划停机,延长设备寿命,防患于未然。
内容:控制系统升级: 将老设备的继电器或落后PLC系统,升级为基于工控机+PLC的现代控制系统,实现工艺配方、数据记录和远程监控功能。 关键部件升级: 如更换更高效的泵组、加装新的膜厚监控仪等。 价值: 以远低于新购设备的成本,让老设备焕发新生,提升性能和智能化水平。
内容: 利用东北大学“先进镀膜与半导体装备”实验室的专家知识和产业化公司的先进设备,为客户解决“工艺难题”。例如: 为客户的应用需求寻找最佳镀膜方案。 优化参数,解决膜层结合力差、应力大、均匀性不佳等问题。 接受小批量代工生产,为客户验证工艺可行性。 价值: 输出核心Know-how,帮助客户突……
内容: 开设真空技术、镀膜工艺、设备维护等短期课程。提供专家技术咨询报告。