新水冷弧源

新型水冷阴极采用导热性更好的铜箔，大大增强了靶材与水冷液的对流换热效率，靶面各区域的温度下降明显。

新水冷阴极优点

新型水冷阴极导热片由原来的不锈钢片换为导热性和延展性更好的铜箔，将靶材底与水冷液的间距由0.5mm缩小至0.2mm，大大增强了靶材与水冷液的对流换热效率。靶面温度下降明显的同时，靶面温度均匀性指数也由0.975提升至0.978。而铜箔导热片、水冷液等温度明显上升，也说明了新型水冷阴极可以更有效地带走靶面在工艺情况下累积的热量，从而为如今越来越严苛的工艺指标提供更强助力。

(a)不锈钢片

(b)水冷铜箔

水冷阴极温度云图