核心产品与服务

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核心产品与服务

日期:2025-06-11

本项目依托东北大学在流体力学与真空技术、自动化、计算机及软件工程技术领域的学科优势,提供以下服务:

真空设备的正向设计:针对真空系统(如镀膜设备、半导体制造设备、真空泵、真空炉、真空计等)的应用需求,开展流体仿真、热力学仿真、磁场仿真、镀膜仿真等模拟和实验研究,优化真空设备中的气体流动、压力分布、温度分布、磁场分布及粒子输运过程,为真空设备的正向设计提供理论指导与优化设计方法;开展真空设备及关键零部件的可靠性设计及可靠性试验,提供设计图纸;开展真空设备及关键零部件的服役特性测试,提供真空设备及关键零部件的全生命周期技术服务(包括服役特性数据库、故障诊断数据库,等)。

真空表面工程行业的咨询服务:基于由东北大学蔺增教授发起的2015年在东北大学成立的Surfacility(添毅)技术平台,为真空表面工程行业提供硬件升级改造、工艺优化开发、控制系统升级、新技术调研、产学研合作项目策划、技术成果申报及鉴定、技术培训和实训、行业发展报告、行业振兴计划、标准制定和修订等咨询服务。

智能化解决方案:针对半导体、航空航天、新能源、生物医学等领域的应用需求,搭建个性化数字模型,牵头建立基于工业互联网的云平台,基于物联网和大数据技术,推动真空镀膜等设备及关键零部件的智能化升级,用人工智能赋能真空表面工程行业,实现由“进口替代”到“技术引领”的跃升。

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